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团簇转运平台
更新时间:2022-03-03 09:52:20 字号:T|T
提供定制化的Cluster团簇中心转运平台,用于将产品或衬底在各工艺腔室之间进行转运,以便客户进行二次开发。

       


1、产品用途
提供定制化的Cluster团簇中心转运平台,用于将产品或衬底在各工艺腔室之间进行转运,以便客户进行二次开发。

2、技术参数

基片规格

               2"—12"

工位数

               4工位、6工位、8工位

真空机械手

               华聚科技/进口

腔体材料

               铝/不锈钢

控制软件

               MODBUS TCP/IP、I/O、RS485接口可选

选配

               其他功能可根据要求选配或定制

  
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